Моделювання надвисокочастотного генератора плазми

Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo

doi:10.20535/2523-4455.2018.23.1.105252

Т. 23 · № 1 · 2018 лют 28, 2018 Вакуумна, плазмова та квантова електроніка

Моделювання надвисокочастотного генератора плазми

Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo Відповідальний Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Україна

Сторінки16-22 Опублікованолют 28, 2018

PDF

ТОМ 23 · № 1 · 2018 Переглянути випуск

Анотація

Представлено результати 3D моделювання хвилеводно-резонаторного тракту спільно з газорозрядною камерою, шляхом чого було розраховано геометричні параметри НВЧ генератора в узгодженому режимі з максимальною передачею енергії від джерела НВЧ потужності до області, де буде відбуватись генерація плазми. Розрахунок проводився, виходячи з умови подальшого сумісного використання пристрою з системою магнетронного розпилення і призначений він для активації інертного газу. У даній роботі представлено аналіз складових частин генератора плазми з урахуванням розрахунків, опис схеми роботи системи та принцип роботи НВЧ генератора плазми. Бібл. 12, рис. 9.

Ключові слова

#надвисокочастотний генератор плазми #3D моделювання #НВЧ тракт #хвилевід

Посилання

A. Azarenkov, V. Beresnev and A. Pogrebniak, Struktura i vlastyvosti zahysnyh pokryttiv i modyfikovanyh shariv materialiv [The structure and properties of the protective coating layers and modified materials], Kharkiv: Karazin KNU, 2007, p. 560. ISBN : 978-966-623-476-9
E. Dabyzha, N. Novikov, N. Borуsovа, I. Bondar, V. Dabyzha and A. Zolotukhin, «Suchasni vakuumni texnologiyi oderzhannya pokryttiv [Up-to-date vacuum technology for coatings production],» Suchasna electrometallurgia, no. 4, pp. 34-40, 2005.
«Method magnetronnogo napilennya pokrittіv z іonnym asystuvannyam [Method of magnetron coating deposition with ion assisting],» 2009. [Online]. Available: http://cozap.com.ua/text/9625/index-1.html . [Accessed: 07 December 2015].
B. Lyashenko, V. Mirnenko, L. Golovko and M. Boleyko, «Keruvannya parametramy nanesennya vakuum-plazmovyh pokryttiv z metoyu pidvyshchennya yih harakterystyk mizznosti i plastychnosti [Control of parameters for applying vacuum plasma coatings to improve their strength and ductility characteristics],» Naukovi Visti NTUU "KPI", no. 5, pp. 49-54, 2005.
V. Beresnev, D. Perlov and A. Fedorenko, Ekologichno bezpechne vakuumno-plazmove obladnannya i texnologiyi nanesennya pokryttiv [Sustainable vacuum plasma equipment and coating technology], Kharkiv: KISP, 2010, p. 292.
A. Demchyshyn, Y. Kurapov, A. Goncharov, V. Mychenko, E. Kostin and E. Ternovoy, «Doslidna ionno-plazmova ustanovka dlya nanesennya pokryttiv u vakuumi [Pilot ion-plasma unit for coatings deposition in vacuum],» Problemy spets. metalurhii, no. 4, pp. 41-43, 2001.
O. Volpyan, A. Kuzmichev и A. Samokysh, «Sovremennye opticheskie plenochnye pokrytiya [Up-to-date optical film coatings],» Electronics and communications, vol. 13, no. 5 (46), pp. 5-19, 2008.
A. Kuzmichev, Magnetronnye raspylitel'nye sistemy [Magnetron sputtering systems], vol. 1, Kiev: Avers, 2008. ISBN : 966-8934-07-5
R. Yafarov, Fyzyka SVCh vakuumno-plazmennyh nano-texnologyi [Physics of microwave vacuum-plasma nano-technologies], Moskva: Phizmalit, 2009, p. 216. ISBN : 978-5-9221-1150-8
A. Kuzmichev, V. Perevertailo and A. Mumladze, «SVCh gazorazriadnyi svetilnik na parah sery [Microwave gas-discharge sulfur vapor lamр],» Electronics and communications, vol. 20, no. 5 (20), pp. 15-21, 2015. DOI: 10.20535/2312-1807.2015.20.5.69930
I. Lebedev, Technica i pribory SVCh [MW equipment and devices], Moskva: Vysshaia shkola, 1970, 440 p.
V. Perevertailo, A. Kuzmichev, «Modeluvannia plazmovych djerel shvydkyh neitraliv [Simulation of fast neutrals plasma sources],» in Proc. of 10 th theoretical and practical conference Perspektyvni napriamky suchasnoi electroniky, Kyiv, Ukraine, pp. 33-40, 7-8 April 2016.

Попередня у випуску Лабораторний тестер сонячних елементів з динамічною реконфігурацією вимірювальної схеми Наступна у випуску Особливі точки векторного поля інтенсивності в хвилеводі з комбінованими границями

§ 06 — Пов'язані

Схожі статті в цьому журналі

Пов'язані рецензовані дослідження, опубліковані в цьому журналі.

Усі випуски

Генерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвиль

Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo, Anatoly Ivanovitch Kuzmichev

У даній роботі проведено аналіз та порівняння можливих конструктивних особливостей надвисокочастотних генераторів низькотемпературної плазми, які будуються на базі…

#генерація надвисокочастотної плазми #низькотемпературна плазма #еванесцентні хвилі #надвисокочастотний генератор

с. 12-17

10.20535/2523-4455.2017.22.6.105023

Поліпшення параметрів рентгенотелевізійних систем на основі електронних перетворювачів

Natalia Victorovna Shinkarenko

Відзначені переваги плоскопанельних детекторів, які є основою перспективної цифрової рентгенотехніки, порівняно з рентгенівською плівкою, запам’ятовуючими пластинами…

#плоский детектор #КМОН #ПЗЗ #рентген

с. 18-28

10.20535/2523-4455.2017.22.6.107063

Квазістатична ідентифікація структури затінення сонячних панелей за методом векторів кардинальних чисел

PhD, доц. Олена Олегівна Абакумова, д-р техн. наук, проф. Валерій Якович Жуйков, Микола О. Лук'янов

У статті розглянуто проблему ідентифікації структури затінення сонячних панелей. Актуальність дослідження зумовлена необхідністю швидкої та адекватної реконфігурації…

#Сонячні панелі #Фотоелектрична поверхня #Моделювання структури тіней #Квазістатична ідентифікація

с. 362283.1-362283.7

10.20535/2523-4455.mea.362283

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають

Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo, Anatoly Ivanovitch Kuzmichev, Генерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвиль , Мікросистеми, Електроніка та Акустика: Том 22 № 6 (2017)

Схожі статті

Віталій О. Іващук, канд. техн. наук, доц. Наталія Георгіївна Іванушкіна, Моделювання впливу температури на електричну активність серцевих клітин: ідентифікація ключових іонних струмів за допомогою аналізу чутливості , Мікросистеми, Електроніка та Акустика: Том 31 № 1 (2026)
Mikhail Removych Dombrougov, Моделювання явища інверсії градієнта профілю алюмінію при рідиннофазній епитаксії гетероструктур GaAl(P,As,Sb) , Мікросистеми, Електроніка та Акустика: Том 24 № 1 (2019)
Khaldon Araffa, Планування траєкторії антропоморфного крокуючого робота (Biped Robot) , Мікросистеми, Електроніка та Акустика: Том 24 № 2 (2019)
Sergey M. Osinov, Viktor Fedorovich Zavorotnyi, Boris Ivanovych Lupyna, Olexandr Vasylovych Borisov, Моделювання багатофункціанального терморезистивного перетворювача, що використовує технологію теплообміну , Мікросистеми, Електроніка та Акустика: Том 24 № 2 (2019)
Іван Андрійович Вакуленко, канд. техн. наук, доц. Дмитро Анатолійович Миколаєць, канд. техн. наук, доц. Катерина Сергіївна Клен, Імітаційне моделювання фільтро-компенсаційного перетворювача для трифазної трипровідної мережі , Мікросистеми, Електроніка та Акустика: Том 31 № 2 (2026)
Kostiantyn S. Mazur, Alina O. Serheieva, Dmytro D. Tatarchuk, Yuri V. Didenko, Керовані частотноселективні структури НВЧ на основі неоднорідної мікросмужкової лінії передачі , Мікросистеми, Електроніка та Акустика: Том 23 № 4 (2018)
Ірина Брика, Наталія Юріївна Філіпова, Двостороння система попередження учасників дорожнього руху на базі мікроконтролера ESP32 , Мікросистеми, Електроніка та Акустика: Том 31 № 1 (2026)
Maksym Serhiiovych Fil, Dnys Yurevych Lebeddev, Leonid Mykolaiovych Pavlov, Підвищення стійкості цифрового телебачення до перешкод , Мікросистеми, Електроніка та Акустика: Том 24 № 5 (2019)
Mykola Fedorovych Zhovnir, Вимірювальний перетворювач кутових переміщень з використанням фазових набігань електричного поля поверхневих акустичних хвиль , Мікросистеми, Електроніка та Акустика: Том 22 № 5 (2017)
Andrii Volodymyrovych Osinsky, Andrii Volodymyrovych Diahiliev, Oleksandr Vasylovych Borysov, Nataliia Mykolaivna Liakhova, Marat Serhiiovych Onachenko, Nina Olehivna Sukhovii, Ihor Vitaliiovych Masol, Volodymyr Ivanovych Osinsky, Рекордна ефективність сонячних батарей на варізонних трінітрідах квантових енесторів-зоністорів , Мікросистеми, Електроніка та Акустика: Том 23 № 5 (2018)

1-10 з 56 Наступне

Ви також можете розпочати розширений пошук схожих статей для цієї статті.

[1] A. Azarenkov, V. Beresnev and A. Pogrebniak, Struktura i vlastyvosti zahysnyh pokryttiv i modyfikovanyh shariv materialiv [The structure and properties of the protective coating layers and modified materials], Kharkiv: Karazin KNU, 2007, p. 560. ISBN : 978-966-623-476-9

[2] E. Dabyzha, N. Novikov, N. Borуsovа, I. Bondar, V. Dabyzha and A. Zolotukhin, «Suchasni vakuumni texnologiyi oderzhannya pokryttiv [Up-to-date vacuum technology for coatings production],» Suchasna electrometallurgia, no. 4, pp. 34-40, 2005.

[3] «Method magnetronnogo napilennya pokrittіv z іonnym asystuvannyam [Method of magnetron coating deposition with ion assisting],» 2009. [Online]. Available: http://cozap.com.ua/text/9625/index-1.html . [Accessed: 07 December 2015].

[4] B. Lyashenko, V. Mirnenko, L. Golovko and M. Boleyko, «Keruvannya parametramy nanesennya vakuum-plazmovyh pokryttiv z metoyu pidvyshchennya yih harakterystyk mizznosti i plastychnosti [Control of parameters for applying vacuum plasma coatings to improve their strength and ductility characteristics],» Naukovi Visti NTUU "KPI", no. 5, pp. 49-54, 2005.

[5] V. Beresnev, D. Perlov and A. Fedorenko, Ekologichno bezpechne vakuumno-plazmove obladnannya i texnologiyi nanesennya pokryttiv [Sustainable vacuum plasma equipment and coating technology], Kharkiv: KISP, 2010, p. 292.

[6] A. Demchyshyn, Y. Kurapov, A. Goncharov, V. Mychenko, E. Kostin and E. Ternovoy, «Doslidna ionno-plazmova ustanovka dlya nanesennya pokryttiv u vakuumi [Pilot ion-plasma unit for coatings deposition in vacuum],» Problemy spets. metalurhii, no. 4, pp. 41-43, 2001.

[7] O. Volpyan, A. Kuzmichev и A. Samokysh, «Sovremennye opticheskie plenochnye pokrytiya [Up-to-date optical film coatings],» Electronics and communications, vol. 13, no. 5 (46), pp. 5-19, 2008.

[8] A. Kuzmichev, Magnetronnye raspylitel'nye sistemy [Magnetron sputtering systems], vol. 1, Kiev: Avers, 2008. ISBN : 966-8934-07-5

[9] R. Yafarov, Fyzyka SVCh vakuumno-plazmennyh nano-texnologyi [Physics of microwave vacuum-plasma nano-technologies], Moskva: Phizmalit, 2009, p. 216. ISBN : 978-5-9221-1150-8

[10] A. Kuzmichev, V. Perevertailo and A. Mumladze, «SVCh gazorazriadnyi svetilnik na parah sery [Microwave gas-discharge sulfur vapor lamр],» Electronics and communications, vol. 20, no. 5 (20), pp. 15-21, 2015. DOI: 10.20535/2312-1807.2015.20.5.69930

[11] I. Lebedev, Technica i pribory SVCh [MW equipment and devices], Moskva: Vysshaia shkola, 1970, 440 p.

[12] V. Perevertailo, A. Kuzmichev, «Modeluvannia plazmovych djerel shvydkyh neitraliv [Simulation of fast neutrals plasma sources],» in Proc. of 10 th theoretical and practical conference Perspektyvni napriamky suchasnoi electroniky, Kyiv, Ukraine, pp. 33-40, 7-8 April 2016.