Дослідження динамічного діапазону кремнієвих фотодіодів для застосування в оптичній пірометрії
Оптична пірометрія є одним з основних безконтактних методів для прецизійного вимірювання температури напівпровідникових підкладок для технології газофазної епітаксії з…