кві 27, 2026 Мікросистеми та фізична електроніка

Осадження тонких плівок оксиду молібдену для гнучкої біорозкладної електроніки

АГ
Анна Сергіївна Гондовська Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського»
РД
Роман Ігорович Дідусь Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського»
ВЛ
Владислав Анатолійович Лапшуда Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського»
ОЯ
Ольга Василівна Ященко Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського»
Сторінки227276-1 - 227276-6 Опублікованокві 27, 2026 ЛіцензіяВідкритий доступ
pdf

Анотація

У статті розглянуто використання біополімерного матеріалу (наноцелюлози) як гнучкої підкладки для осадження функціональних шарів електронних приладів. Плівки оксиду молібдену осаджувались на поверхню наноцелюлози методом йонно-променевого розпилення в низькотемпературних режимах без наступного відпалу. Було виміряно спектри оптичної прозорості отриманих зразків у вихідному та зігнутому станах та встановлено вплив пружної деформації зразку з радіусом згину 5 мм на коефіцієнт оптичного пропускання в ультрафіолетовому, видимому та інфрачервоному діапазонах спектру. При цьому було показано, що оптична прозорість вихідних зразків під час згину може зменшуватись на 12-15% порівняно з вихідним станом. Мінімальна величина впливу згину на коефіцієнт оптичного пропускання (від 0,7 до 3,3%) спостерігається для плівок оксиду молібдену, синтезованих за температури 50°С. Одержані результати можуть бути використані при розробці гнучких електронних приладів на основі оксиду молібдену. 

Ключові слова

Ліцензія

CCBY 4.0
Creative Commons Із зазначенням авторства 4.0 Міжнародна

Ця робота має відкриту ліцензію: вільно поширюйте та адаптуйте її, посилаючись на авторів і журнал. Умови ліцензії ↗

Схожі статті

Ви також можете розпочати розширений пошук схожих статей для цієї статті.