Сорокін, Д., & Губар, В. Г. (2019). Блок керування установки для експонування фоторезисту. Електронна та Акустична Інженерія, 2(2), 26-29.
Д. Сорокін and В. Г. Губар, "Блок керування установки для експонування фоторезисту," Електронна та Акустична Інженерія, vol. 2, no. 2, pp. 26-29, 2019.
Сорокін, Дмитро, and В. Г. Губар. "Блок керування установки для експонування фоторезисту." Електронна та Акустична Інженерія, vol. 2, no. 2, 2019, pp. 26-29.
Сорокін, Д., and Губар, В. Г.. 2019. "Блок керування установки для експонування фоторезисту." Електронна та Акустична Інженерія 2, no. 2: 26-29.
Сорокін, Д. and Губар, В.Г. (2019) 'Блок керування установки для експонування фоторезисту', Електронна та Акустична Інженерія, 2(2), pp. 26-29.
Сорокін Д, Губар ВГ. Блок керування установки для експонування фоторезисту. Електронна та Акустична Інженерія. 2019;2(2):26-29.
@article{2019,
title = {Блок керування установки для експонування фоторезисту},
author = {Сорокін, Дмитро and Губар, В. Г.},
journal = {Електронна та Акустична Інженерія},
volume = {2},
number = {2},
pages = {26--29},
year = {2019}
}
TY - JOUR
AU - Сорокін, Дмитро
AU - Губар, В. Г.
PY - 2019
TI - Блок керування установки для експонування фоторезисту
JO - Електронна та Акустична Інженерія
VL - 2
IS - 2
SP - 26
EP - 29
ER -