Осадження тонких плівок оксиду молібдену для гнучкої біорозкладної електроніки

Анна Сергіївна Гондовська; Роман Ігорович Дідусь; Владислав Анатолійович Лапшуда; Ольга Василівна Ященко

Т. 4 · № 1 · 2021 кві 27, 2026 Мікросистеми та фізична електроніка

Осадження тонких плівок оксиду молібдену для гнучкої біорозкладної електроніки

АГ

Анна Сергіївна Гондовська Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» Україна

РД

Роман Ігорович Дідусь Відповідальний Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» romanik619@gmail.com Україна

ВЛ

Владислав Анатолійович Лапшуда Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» Україна

ОЯ

Ольга Василівна Ященко Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» Україна

Сторінки227276-1 - 227276-6 Опублікованокві 27, 2026 ЛіцензіяВідкритий доступ

pdf

ЕАІ 1 VOL 4 · 1

VOL 4 · NO 1 · 2021 Переглянути випуск

Анотація

У статті розглянуто використання біополімерного матеріалу (наноцелюлози) як гнучкої підкладки для осадження функціональних шарів електронних приладів. Плівки оксиду молібдену осаджувались на поверхню наноцелюлози методом йонно-променевого розпилення в низькотемпературних режимах без наступного відпалу. Було виміряно спектри оптичної прозорості отриманих зразків у вихідному та зігнутому станах та встановлено вплив пружної деформації зразку з радіусом згину 5 мм на коефіцієнт оптичного пропускання в ультрафіолетовому, видимому та інфрачервоному діапазонах спектру. При цьому було показано, що оптична прозорість вихідних зразків під час згину може зменшуватись на 12-15% порівняно з вихідним станом. Мінімальна величина впливу згину на коефіцієнт оптичного пропускання (від 0,7 до 3,3%) спостерігається для плівок оксиду молібдену, синтезованих за температури 50°С. Одержані результати можуть бути використані при розробці гнучких електронних приладів на основі оксиду молібдену.

Ключові слова

#оксид молібдену #наноцелюлоза #гнучка електроніка

Посилання

J. van den Brand et al., “Flexible and stretchable electronics for wearable health devices,” Solid. State. Electron., vol. 113, pp. 116–120, Nov. 2015, DOI: https://doi.org/10.1016/j.sse.2015.05.024.
Y. Zhang et al., “Flexible transparent high-voltage diodes for energy management in wearable electronics,” Nano Energy, vol. 40, pp. 289–299, Oct. 2017, DOI: https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2017.08.025.
M.-S. Tsai, P.-G. Su, and C.-J. Lu, “Fabrication of a highly sensitive flexible humidity sensor based on Pt/polythiophene/reduced graphene oxide ternary nanocomposite films using a simple one-pot method,” Sensors Actuators B Chem., vol. 324, p. 128728, Dec. 2020, DOI: https://doi.org/10.1016/j.snb.2020.128728.
H. Jeong, Y. Noh, and D. Lee, “Highly stable and sensitive resistive flexible humidity sensors by means of roll-to-roll printed electrodes and flower-like TiO2 nanostructures,” Ceram. Int., vol. 45, no. 1, pp. 985–992, Jan. 2019, DOI: https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2018.09.276.
Y. Zhang et al., “Ultrasensitive flexible NH3 gas sensor based on polyaniline/SrGe4O9 nanocomposite with ppt-level detection ability at room temperature,” Sensors Actuators B Chem., vol. 319, p. 128293, Sep. 2020, DOI: https://doi.org/10.1016/j.snb.2020.128293.
V. A. Barbash, O. V. Yashchenko, and O. A. Vasylieva, “Preparation and Properties of Nanocellulose from Miscanthus x giganteus,” J. Nanomater., vol. 2019, pp. 1–8, Nov. 2019, DOI: https://doi.org/10.1155/2019/3241968.
V. Koval, V. Barbash, M. Dusheyko, V. Lapshuda, O. Yashchenko, and Y. Yakimenko, “Application of Nanocellulose in Humidity Sensors for Biodegradable Electronics,” in 2020 IEEE 10th International Conference Nanomaterials: Applications & Properties (NAP), 2020, pp. 02NS01-1-02NS01-5, DOI: https://doi.org/10.1109/NAP51477.2020.9309598.
N. P. Klochko et al., “Use of biomass for a development of nanocellulose-based biodegradable flexible thin film thermoelectric material,” Sol. Energy, vol. 201, pp. 21–27, May 2020, DOI: https://doi.org/10.1016/j.solener.2020.02.091.
N. Saba and M. Jawaid, “Recent advances in nanocellulose-based polymer nanocomposites,” in Cellulose-Reinforced Nanofibre Composites, Elsevier, 2017, pp. 89–112, DOI: https://doi.org/10.1016/B978-0-08-100957-4.00004-8.
C. Battaglia et al., “Hole Selective MoO x Contact for Silicon Solar Cells,” Nano Lett., vol. 14, no. 2, pp. 967–971, Feb. 2014, DOI: https://doi.org/10.1021/nl404389u.
Y. Zhou et al., “High moisture-resistive MoOx/metal/graphite barrier films with excellent thermal dissipation for the encapsulation of organic electronics,” Org. Electron., vol. 86, p. 105817, Nov. 2020, DOI: https://doi.org/10.1016/j.orgel.2020.105817.
V. Koval et al., “Reactive Ion Beam Sputtered Molybdenum Oxide Thin Films for Optoelectronic Application,” in 2020 IEEE 40th International Conference on Electronics and Nanotechnology (ELNANO), 2020, pp. 246–250, DOI: https://doi.org/10.1109/ELNANO50318.2020.9088736.
M. Kim, C. Lim, D. Jeong, H.-S. Nam, J. Kim, and J. Lee, “Design of a MoO x /Au/MoO x transparent electrode for high-performance OLEDs,” Org. Electron., vol. 36, pp. 61–67, Sep. 2016, DOI: https://doi.org/10.1016/j.orgel.2016.05.035.

Ліцензія

CCBY-NC 4.0

Creative Commons Із зазначенням авторства 4.0 Міжнародна

Ця робота має відкриту ліцензію: вільно поширюйте та адаптуйте її, посилаючись на авторів і журнал. Умови ліцензії ↗

Попередня у випуску Застосування 3D-моделювання в медицині при підготовці до 3D-друку Наступна у випуску Удосконалена система шумопеленгування безпілотних літальних апаратів

§ 06 — Пов'язані

Схожі статті в цьому журналі

Пов'язані рецензовані дослідження, опубліковані в цьому журналі.

Усі випуски

Підвищення ефективності використання електромагнітної індукції

Анна Олексіївна Пелих, В. В. Гаврилюк

У роботі описано результати проведеного експерименту щодо підтвердження підвищення ефективності роботи приладів при використанні струму високої частоти. Результати…

#висока частота #плоска котушка #високочастотний струм #електромагнітна індукція

p. 20-22

Віртуальна лабораторія екологічного моніторингу довкілля

Софія Олегівна Павлова

Проаналізовано чинники негативного впливу на навколишнє середовище, а саме на стан повітря, розроблено модель інтелектуальної системи моніторингу стану навколишнього…

#екомонітринг #система #ефективність #роботизована система

p. 10-13

Вимірювання п’єзоелектричних характеристик діодних структур на векторному аналізаторі «Обзор-103»

Олексій Сергійович Цибульський, Владислав А. Клименко, Тетяна Вікторівна Семикіна

В роботі наведено результати дослідження напівпровідникових плівкових гетеро структур CdS-Cu2S та CdS-ZnS-Cu2S методом резонансу-антирезонансу. Виміри…

#амплітудно-частотні характеристики #напівпровідникові плівки #гетероструктури #п’єзоелектричні властивості.

p. 5-9

Схожі статті

Кирило Євгенович Балашов, Владислав А. Клименко, Людмила Миколаївна Шмирова, Сергій Васильович Мамикін, Теяна Вікторівна Семікіна, Дослідження п’єзофототронного ефекту в плівкових структурах А2В6 , Електронна та Акустична Інженерія: Том 3 № 3 (2020)
Олексій Сергійович Цибульський, Владислав А. Клименко, Тетяна Вікторівна Семикіна, Вимірювання п’єзоелектричних характеристик діодних структур на векторному аналізаторі «Обзор-103» , Електронна та Акустична Інженерія: Том 3 № 4 (2020)
Анастасія Володимирівна Паренюк, Аналіз звуків мови в програмі Praat , Електронна та Акустична Інженерія: Том 4 № 2 (2021)
Максим Сергійович Голуб, Порівняльний аналіз baseband-процесорів для реалізації SDR-трансиверів , Електронна та Акустична Інженерія: Том 3 № 2 (2020)

Ви також можете розпочати розширений пошук схожих статей для цієї статті.

[1] J. van den Brand et al., “Flexible and stretchable electronics for wearable health devices,” Solid. State. Electron., vol. 113, pp. 116–120, Nov. 2015, DOI: https://doi.org/10.1016/j.sse.2015.05.024.

[2] Y. Zhang et al., “Flexible transparent high-voltage diodes for energy management in wearable electronics,” Nano Energy, vol. 40, pp. 289–299, Oct. 2017, DOI: https://doi.org/10.1016/j.nanoen.2017.08.025.

[3] M.-S. Tsai, P.-G. Su, and C.-J. Lu, “Fabrication of a highly sensitive flexible humidity sensor based on Pt/polythiophene/reduced graphene oxide ternary nanocomposite films using a simple one-pot method,” Sensors Actuators B Chem., vol. 324, p. 128728, Dec. 2020, DOI: https://doi.org/10.1016/j.snb.2020.128728.

[4] H. Jeong, Y. Noh, and D. Lee, “Highly stable and sensitive resistive flexible humidity sensors by means of roll-to-roll printed electrodes and flower-like TiO2 nanostructures,” Ceram. Int., vol. 45, no. 1, pp. 985–992, Jan. 2019, DOI: https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2018.09.276.

[5] Y. Zhang et al., “Ultrasensitive flexible NH3 gas sensor based on polyaniline/SrGe4O9 nanocomposite with ppt-level detection ability at room temperature,” Sensors Actuators B Chem., vol. 319, p. 128293, Sep. 2020, DOI: https://doi.org/10.1016/j.snb.2020.128293.

[6] V. A. Barbash, O. V. Yashchenko, and O. A. Vasylieva, “Preparation and Properties of Nanocellulose from Miscanthus x giganteus,” J. Nanomater., vol. 2019, pp. 1–8, Nov. 2019, DOI: https://doi.org/10.1155/2019/3241968.

[7] V. Koval, V. Barbash, M. Dusheyko, V. Lapshuda, O. Yashchenko, and Y. Yakimenko, “Application of Nanocellulose in Humidity Sensors for Biodegradable Electronics,” in 2020 IEEE 10th International Conference Nanomaterials: Applications & Properties (NAP), 2020, pp. 02NS01-1-02NS01-5, DOI: https://doi.org/10.1109/NAP51477.2020.9309598.

[8] N. P. Klochko et al., “Use of biomass for a development of nanocellulose-based biodegradable flexible thin film thermoelectric material,” Sol. Energy, vol. 201, pp. 21–27, May 2020, DOI: https://doi.org/10.1016/j.solener.2020.02.091.

[9] N. Saba and M. Jawaid, “Recent advances in nanocellulose-based polymer nanocomposites,” in Cellulose-Reinforced Nanofibre Composites, Elsevier, 2017, pp. 89–112, DOI: https://doi.org/10.1016/B978-0-08-100957-4.00004-8.

[10] C. Battaglia et al., “Hole Selective MoO x Contact for Silicon Solar Cells,” Nano Lett., vol. 14, no. 2, pp. 967–971, Feb. 2014, DOI: https://doi.org/10.1021/nl404389u.

[11] Y. Zhou et al., “High moisture-resistive MoOx/metal/graphite barrier films with excellent thermal dissipation for the encapsulation of organic electronics,” Org. Electron., vol. 86, p. 105817, Nov. 2020, DOI: https://doi.org/10.1016/j.orgel.2020.105817.

[12] V. Koval et al., “Reactive Ion Beam Sputtered Molybdenum Oxide Thin Films for Optoelectronic Application,” in 2020 IEEE 40th International Conference on Electronics and Nanotechnology (ELNANO), 2020, pp. 246–250, DOI: https://doi.org/10.1109/ELNANO50318.2020.9088736.

[13] M. Kim, C. Lim, D. Jeong, H.-S. Nam, J. Kim, and J. Lee, “Design of a MoO x /Au/MoO x transparent electrode for high-performance OLEDs,” Org. Electron., vol. 36, pp. 61–67, Sep. 2016, DOI: https://doi.org/10.1016/j.orgel.2016.05.035.